2025年中國半導體廢氣處理設備?行業產業鏈圖譜、運行現狀、重點企業及未來發展趨勢研判：國產替代與智能化轉型加速，行業市場規模有望突破25億元[圖]

半導體廢氣處理設備是專為晶圓制造、封裝測試等環節設計的環保裝備，其核心功能是通過物理、化學或生物方法，將生產過程中產生的揮發性有機物（VOCs）、酸性氣體（如HF、Cl?）、金屬顆粒物等有害物質轉化為無害物質，確保排放符合環保法規。